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6ES7416-3ES07-0AB0
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SATOVAC PVD-9500-L21真空計
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ESMD751L4TXA
HENGSTLER 566212 AC58/1213EK.42SGD
EAGLE SIGNAL 191-02B6 16SEC
CJ1W-TC103
訂貨號8265100
日本SATOVAC DW-960
控制單元，2個模擬輸入PFXA4013BSE024388R1
3BDH000366R0001
SCHNEIDER ILE1B661PB1A8電機
18.56SE6440-2UE31-8DA1
2711P-T10C4D9
HENGSTLER 464190 464190
常用MM22D-503-002.2kW
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IZM91B3C-V16CF
訂貨號18215092
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SIEMENS 6SL3210-5BB22-2AV0交流變頻器
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3BSE028144R1165
發那科型號：A06B-6290-H124伺服驅動器
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HENGSTLER 566065 AC58/1212ES.41SGD
日本SATOVAC PG-2 BM真空計
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3BDM000100R1
150-F625NBA
厚度上傳感器訂貨號：P/N:08713700
0.756SE6440-2UE17-5CA1
訂貨號：KJ1501X1-BC3
日本SATOVAC FAV-6SA
SCHNEIDER ILS1R573PC1A0電機
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1769-IQ6XOW4
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SCHNEIDER ILS2T853TC1F0電機
三菱薄膜生產線電機MVK8107G 2.2kw三菱薄膜生產線電機MVK8135G 7.5KW三菱薄膜生產線電機MVK8165G 11kw三菱薄膜生產線電機MVK8167G 15kw
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HONEYWELL QCS 00847537顏色傳感器氙燈
3BDH000388R0001DC705F,
VFC模式下輸出濾波器HF450-503訂貨號8269483
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控制單元，4個模擬輸入PFXA401S3BSE024388R2
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MDV60A-0110-5A3-4-00訂貨號8264899
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