螺旋線形閥擬懸臂梁結構,其螺旋臂長是簡單懸臂梁閥的數倍,工作時開啟度大,中空結構諧波減速機SHA-40-160-2UH且因其螺旋線形彈性固支結構,閥體不僅可以上下回位,左右也具有對中功能,有效改善了閥體與進出口之間的配合性,提高了閥的跟從和截止性。
閥體在流體作用下開啟時,曲臂變形使閥體升高,中空結構諧波減速機SHA-40-160-2UH離開閥座;在流體作用下關閉時,閥體下落與曲臂和定位器壓并平齊。因此,閥曲臂的工作過程就等效于截錐螺旋拉伸彈簧。
當壓電振子向外變形時,泵腔容積增大形成負力 FT 和開啟量 fT 均達到大中空結構諧波減速機SHA-40-160-2UH,此時的作用力根據壓,閥體在負壓作用下開啟。因為是被動閥泵,閥體是在腔內流體的作用下產生運動