ULVAC UTM3400A渦輪分子泵

采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實現了省配線，省空間。
特點
泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要復雜的布線工作。
安裝方向自由安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
產品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
廣域大流量設計，適用于輕工藝泵速可以在25％至100％的范圍內變化，腔室的壓力可以調節。
高耐久性和安全性已經通過各種安全確認測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。

用途
各種設備的主真空排氣系統半導體制造設備蒸發設備濺射設備分析設備實驗設備等研究開發設備
不會生成副反應物的輕工藝的主排氣系統
替換設備上的有擴散泵
其他一般高真空排氣用途