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Edwards STP-XA4503C英國愛德華磁懸浮分子泵維修，Edwards STP-XA4503C愛德華磁懸浮分子泵進氣法蘭口VF300/ISO320F/VG350，出氣法蘭口KF40，抽速可達到3800-4300 l/s，轉速為24000 rpm， 極限壓力10-7Pa / 10-9mbar，對應的控制器為：Edwards SCU-1600。
