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Ebara ET600W驅動IPM內部的六路IGBT的PWM脈沖先是從LPC2292內部PWM脈寬調制器輸出的，然后通過光耦隔離后再送到IMP的六路脈沖輸入端。 ??
Ebara ET600W保護電路的設計 ??
雖然PM20CSJ060有過流、欠壓、短路或過熱等自保護功能，但為了提高系統的可靠性和更好地保護IGBT,我們還是增加了一套快速而準確的保護環節以防止各種故障的發生對系統造成的損壞。 ??
