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INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀深圳市天鉉真空技術有限公司
高精度連續鍍膜控制或共鍍膜控制
憑借先進的技術、完善的顯示和實惠的價格，INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀無法企及的優勢。可以選擇適合您應用的理想型號：連續鍍膜 (SQC-310) 或共鍍膜 (SQC-310C)。
功能
零件號
規格
類型
SQC-310
SQC-310C
測量
QCM 輸入
2 (4 optional)
4
測量頻率范圍
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1)
± 0.012 Hz
± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/測量 (2)
±0.015 ?
±0.015 ?
頻率穩定性
± 2 ppm total, 0 to 50C
± 2 ppm total, 0 to 50C
測量周期
0.10 to 1.0 s (adjustable)
0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率顯示
0.01 ?/sec
0.01 ?/sec
控制
存儲
100 processes, 1000 layers, 50 films
100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出
2 (4 optional)
4
輸出信號
± 0 to 10 VDC, 15 bits
± 0 to 10 VDC, 15 bits
數字輸入/繼電器
8/8 (16/16 optional)
16/16
數字輸入
5 VDC non-isolated
5 VDC non-isolated
繼電器
SPST Form 1A, 30V, 2A max
SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠程電源控制
Optional (IPN 782-900-017)
Optional (IPN 782-900-017)
顯示器
類型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表
Rate, deviation, power or full screen numeric
Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合規性
CE, RoHS
CE, RoHS
Windows® 軟件
Included
Included
殼體/安裝
5 1/4” half-rack
5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒測量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率= 6 赫茲，0.25 秒測量間隔
