Wilo 加熱泵 Para 25-9-87/IPWM1-130 高效部件

擴散泵是利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質蒸汽射流，攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體，而實現抽真空的一種真空泵。

其工作原理是：由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內的液態工作介質加熱，使其變成蒸汽；蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流；

被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中，被下一級蒸汽射流帶走，最后由前級泵排出，而工作蒸汽到達水冷的泵壁，冷凝成為液態沿著泵壁流回油鍋。

在油鍋里重新被加熱變成油蒸汽。這樣周而復始的工作，形成了擴散泵的正常抽氣過程。

擴散泵是依靠高速噴射的油蒸汽氣流來排氣的，高速運動的流體內部的壓強相對比較低，所以氣體分子就會被擴散到氣流里，隨著氣流的高速運動而排出泵外。

擴散泵由泵殼，泵芯，泵油加熱裝置和冷凝器組成。泵油經過加熱，達到沸點以后形成油蒸汽，油蒸汽經過塔型泵芯的幾級噴口噴射而出，形成幾級高速噴射的錐型射流。

由于泵殼和前級管道都是有水冷冷卻的，當油蒸汽射流遇到泵殼和前級管道的冷壁的時候，油蒸汽就會還原為液態的油，回流到泵的底部，經過加熱形成連續不斷的射流，而氣體分子則經過前級泵排出真空系統。

擴散泵的前級管道，一般設有擋油裝置，防止油蒸汽被抽到泵外，起到油氣分離的作用。

為了防止油蒸汽對高真空端造成污染，一般擴散泵的進氣口都設有檔油帽或者水冷冷阱。

為了減輕檔油帽對抽氣速率的影響，工程師們發明了凸腔泵。凸腔泵可以增加抽氣面積，增加油蒸汽射流的行程，增大射流的體積，從而增強抽氣效果。

擴散泵的抽速跟設計有關，跟泵芯的結構形狀，級數，間隙的調整有關，還跟使用泵油的種類有關。一般的說，使用飽和蒸汽壓更低的泵油，可以獲得更高的真空度，現在比較普遍使用的是275硅油。

由于擴散泵的結構簡單，真空度高，一般可以達到十的負五次方帕。抽速比較大，可以做到上萬升，基本上沒有振動，且壽命長，易于維護。

由于沒有運動部件，偶爾掉入異物也不會對擴散泵造成機械性的損傷，所以一經問世就得到了廣泛的應用，尤其能適應那些對油蒸汽不敏感，被抽容器比較大，工作環境條件比較差的場合，所以受到用戶的青睞。

但是由于擴散泵的排氣介質是油蒸汽，所以即使安裝了冷阱，也不能完全避免油蒸汽對真空系統的污染。

擴散泵還是高耗能的真空泵，其能耗是同等抽速分子泵的十幾倍。

由于擴散泵是在高溫的情況下運行，所以突然暴露大氣會對泵油造成氧化，導致泵油的報廢。另外擴散泵需要比較長的加熱啟動和關機降溫的時間，一般在一小時左右，這期間需要不間斷的提供冷卻水。

為了進一步提高真空度和降低油蒸汽污染，還可以在進氣端的管道上加裝低溫冷阱。

在真空泵的大家族中，擴散泵屬于高真空獲得設備。它具有結構簡單、無運動件、噪音很小、使用方便、維護容易、在高真空段有較大抽速，單位抽速所需制造成本較低等許多優點，因此，其應用面很廣。

擴散泵的主要缺點是返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來擴散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問題。

擴散泵的分類方法比較簡單：

按使用的工作液可以分為油擴散泵和汞擴散泵；

按制造擴散泵的材料可以分為金屬擴散泵和玻璃擴散泵；

按泵體形狀可以分為直腔和凸腔擴散泵；

按擴散泵的工作范圍可以分為高真空、超高真空擴散泵和增擴泵（不同于增壓泵）；

按加熱器放置位置，可以分為內加熱泵和外加熱泵，以泵殼為界，放在泵殼內的為內加熱器，放在泵殼外的為外加熱器。

擴散泵的使用主要集中在：真空鍍膜設備、真空冶金設備、真空熱處理設備、電子產品排氣設備等，在高真空大抽速的需求場合擴散泵是不可替代的產品。用戶希望擴散泵性能優良、運行可靠、價格低廉、操作簡單、維修方便。