直采美國ALICAT氣體質量流量計 ALICAT氣體質量流量控制器性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
• 可調比：50:1
• 校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：5-10ms
• 無需預熱時間

直采美國ALICAT氣體質量流量計 ALICAT氣體質量流量控制器工作條件

• 兼容氣體：98（MQ系列）或130（MQS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：305 psig（320 psia）
• 差壓（進口至出口）：100 psid
• 耐受壓力：400 psig（415 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

直采美國ALICAT氣體質量流量計 ALICAT氣體質量流量控制器包裝清單

• MQ系列高壓氣體質量流量計（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書

• 艾里卡特操作說明書