美國ALICAT氣體質量流量控制器山西總經銷 ALICAT質量流量控制器說明書調試安裝性能
- 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
- 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
- 可重復性：0.5%滿量程
- 標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
- 預熱時間：70ms，達到完整精度
商鋪名稱：北京芯笙微納電子科技有限公司
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美國ALICAT氣體質量流量控制器山西總經銷 ALICAT質量流量控制器說明書調試安裝 對于大數額訂單，BASIS系列OEM氣體質量流量控制器，能為用戶提供可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為原始設備制造商（OEM）無應力設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
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