遼寧ALICAT總經銷 ALICAT氣體質量流量控制器沈陽售后服務性能
- 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
- 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
- 可重復性：0.5%滿量程
- 標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
- 預熱時間：70ms，達到完整精度
商鋪名稱：北京芯笙微納電子科技有限公司
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遼寧ALICAT總經銷 ALICAT氣體質量流量控制器沈陽售后服務 艾里卡特Alicat氣體質量流量控制器快速、精準地確定穩定的流量。與任何其它產品相比，我們的質量流量控制器能夠更快地到達其設定值，使其能夠抑制管線壓力波動，因而不會影響您的過程下游。定制化閥門選配項和出廠PID調節能確保您的MFC在具體應用中具備良好性能。
基于壓力的質量流量儀表的性能：
*詳細規格見產品說明書*
MC系列氣體質量流量控制器是我們的標準質量流量控制器，其型號眾多，可測量高達5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管線壓力較高（145-305 psig），請選擇MCQ系列高壓氣體質量流量控制器。
MCW系列低壓損氣體質量流量控制器適用于低壓損應用環境、泄漏測試，也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動響應時間。
若您需要現有熱式質量流量控制器的簡易替換件，MCE系列真空氣體質量流量控制器將閥門置于內部，使其工藝連接件與SEMI標準長度相符。
對于真用應用，MCV系列真空氣體質量流量控制器是在MCE系列的基礎上另增加一氣動截止閥。
BASIS系列OEM氣體質量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質量流量控制器系列，專門設計用于OEM應用和大量訂單環境。
為滿足生物反應器市場的需求，Alicat發布了世界上專門用于生物行業的BIO系列氣體質量流量控制器。
