型號變體
- 閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
- 閥門內置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
- 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
另有：
- 閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)
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MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。
半導體真空設備氣體質量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質量流量控制器
型號變體
另有：
艾里卡特MCV系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
