性能
- 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（MC系列）
- 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
- 可重復性：0.2%滿量程
- 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
- 無需預熱時間
商鋪名稱：北京芯笙微納電子科技有限公司
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Whisper系列低壓損氣體質量流量控制器，適用于在幾乎沒有可用系統壓力的情況下控制質量流量和體積流量。低壓損將保證對系統產生最小影響，實現接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統響應時間。我們將根據您的應用參數，為您定制閥門和PID調節功能，確保產品能夠在保持低壓損的同時實現快速、穩定的控制。
美國ALICAT MCW-50SCCM-D低壓損氣體質量流量控制器
