上海反應釜設備氣體質量流量控制器 ALICAT反應釜氮氣質量流量控制器性能
- 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標簽)
- 可調比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
- 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
- 可重復性:0.2%滿量程
- 標準質量流量控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節功能,可縮短至25ms)
- 無需預熱時間