三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也稱氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室溫下為無色液體，是鹵代硅烷的一種，在有機合成中有很多用途。它在無水情況下穩定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和鹽酸。由氯甲烷與硅粉在氯化亞銅存在下反應并精餾提純獲得，也可由親核性甲基試劑如甲基鋰與四氯化硅發生親核取代反應制得。

中文名稱：三甲基氯硅烷
化學式：C3H9ClSi
CAS登錄號：75-77-4
熔    點：-40℃
外    觀：無色溶液
閃    點：-18℃
分子量：108.64
英文名：trimethyl chlorosilane
密    度：0.857g/cm3
沸    點：57.3℃



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