二維材料設備CVD系統
二維材料設備CVD系統
產品價格:¥55500(人民幣)
  • 規格:BTF-1200C-II-SL-CVD
  • 發貨地:合肥
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1套
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    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:安徽貝意克設備技術有限公司

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    商品詳情

      此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器,輔助二維材料蒸發,后端為溫區管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質量流量計系統和真空系統,可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量,對于做低壓CVD實驗非常實用,重復性好。

      硫粉預熱器

      工作溫度:400℃

      最高溫度:1200℃

      最快升溫速率:≤30℃/min

      推薦升溫速率:10℃/min

      控溫方式:智能化30段可編程控制

      工作電壓:AC220V

      額定功率:800W

      控溫精度:±1℃

      加熱元件:電阻絲

       

       

       

       

       

       

       

       

       

      加熱區參數:

       

      額定功率:5kw

      最高溫度:1200℃

      工作溫度:1100℃

      最大升降溫速率:≤30℃/min

      爐管尺寸:高純度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管徑可選)

      加熱區長度:200+200mm  

      恒溫區長度:290mm

      控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

      標準配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

      尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

      約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

      可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

       

       

       

       

       

       

       

      氣路系統參數:

       

      質量流量計參考量程(N2)100sccm200sccm、500sccm (量程可選)

      準確度:±1.5%

      線性:±0.51.5%

      重復精度:±0.2%

      響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

      工作壓差范圍:0.10.5 MPa

      最大壓力:3MPa

      接口:Φ6,1/4''

      顯示:4位數字顯示

      工作環境溫度:5~45高純氣體             

      內外雙拋不銹鋼管:Φ6

      壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

      截止閥:Φ6

      連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

      可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

       

       

       

       

       

       

       

      低真空系統參數:

       

      國產油泵型號:BSV-10

      抽速:10m3/h

      極限真空度:5*10-1pa

      電源:220v 50hz

      電機功率:0.4kw  

      進排氣連接口:KF25

      用油量:1.1L

      電機轉速:1440rpm

      工作環境溫度:5-40℃

      噪音:≤56db

      電阻真空計參數:

      1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

      2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

      3.測量路數: 1路

      4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

      5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

      6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

      7.功耗: 20W

       

       

       

       使用注意事項

       

       

       

       

       

       

      • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 。  
      • 當爐體溫度高于1000時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的 氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
      •  石英管的長時間使用溫度<1100℃。
      •  對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
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