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基本參數

旋轉工作臺：

回轉精度：（0.025+6H/10000）μm

回轉速度：4、6、8、10rpm

臺面承載：25kg

回轉直徑：560mm

測量直徑：280mm

軸承類型：氣浮軸承

垂直軸（Z軸）：

立柱行程：320mm

檢測深度：100mm(最小內徑：35mm)

垂直移動方式：電動

立柱直線度：0.3μm/100mm

水平臂（X軸）：

水平移動：165mm

突出量：25mm

水平移動方式：電動

檢測器：

采集器件：圓光柵

圓周采樣點數：16384點

傳感器類型：電動傳感器

傳感器量程：±300μm

傳感器分辨率：0.001μm

X向 Z向： 高精度光柵傳感器

產品特點

★ 的補償算法，對Ｚ軸精度進行補償。

★ 可測量錐形柱體的錐度（小錐體）。

★ 氣浮運動軸系，精度保持長。

★ 各軸系采用進口精密光柵計數。

★ 關鍵件采用特殊去應力合金材料及特殊的去應力處理工藝，精度保持長久。

★ 高精度采集控制系統，控制系統所有電路按軍品標準設計、生產及驗收。

★ 能在20±2℃的溫度區間內穩定工作。

★ 軟件自主研發，模塊化設計使用戶維護成本降至。

★ 配置靈活，可據根用戶要求配置。