氧化擴散爐性能特點：
◆具有可編程的升、降溫功能
◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網、磁場的干擾
◆windows xp全中文視窗操作系統，可儲存1000條曲線，每條曲線設置30步
◆自動運行中可暫停／繼續運行功能
◆智能升降溫斜率控制功能
◆PlD參數自整定功能，可存儲多組PlD參數供系統運行調用功能
◆系統故障的檢測與報警功能、系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)
◆具有停電后斷點繼續運行功能
◆工藝方式：干法氧化、濕法氧化、水汽氧化