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半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型(結型、MOSFET型、電容型)。電阻型氣敏器件的原理是氣體分子引起敏感材料電阻的變;非電阻型氣敏器件主要有M()s二極管和結型二極管以及場效應管(M()SFET),它利用了敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓的原理,其原理結構與ISFET離子敏傳感器件相同。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
固體電解質是一種具有與電解質水溶液相同的離子導電特性的固態物質,當用作氣體傳感器時,它是一種電池。它無需使氣體經過透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發和電極消耗等問題。由于這種傳感器電導率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石、環保、礦業、食品等各個領域都得到了廣泛的應用,其重要性僅次子金屬—氧物一半導體氣體傳感器。