油液污染系統液壓元件運動副表面之間有一定間隙，當油液中的固體污染物隨著液流流入間隙，引起零件表面的污染磨損（零部件失效的一種基本類型），隨著表面磨損，運動副間隙擴大，內泄漏增加。元件污染磨損的臨界顆粒尺寸，是評定元件污染程度的重要參數，也是選擇過濾系統的依據，顆粒尺寸比間隙大的不易進入間隙，小的能進入間隙，可產生輕微磨損，而顆粒尺寸與間隙接近或相等的，一旦進入間隙，將對表面產生嚴重磨損或刮傷密封件。