實現精密加工之工件必備條件
精密加工是個相對概念，而且隨著工藝水平的普遍提高，不同年代有著不同的劃分界限，但并無嚴格統一的標準。從目前機械加工的工藝水平來看，超精密加工一般指加工精度<0.3µm，表面粗糙度Ra值<0.03µm的加工。同時也包含加工尺寸在微米級的微細加工。

為了能實現精密加工并獲得預期的加工效果，加工工件必須具備下述基本條件：

被加工工件的材質要密實；各向的同一性要好（最好為單晶）；表層硬度和彈性模量要恒定一致；可加工性要好；材料的化學成份與機械物理性能對標準值的偏差不應超過0.1%。

選用的精密加工工藝方法要與被加工材料相匹配。例如，有色金屬材料（如銅、鋁合金）宜用單點金剛石刀具進行車削或銑削加工；黑色金屬材料（如鋼等）則宜選磨削與研、拋等工藝，否則得不到預期的加工效果等。

加工環境要嚴格恒溫、隔振和凈化。恒溫室（第一分隔區）中的溫度波動不得大于±0.1°C；加工區（第二分隔區）中則不應超過±0.01°C；環境的相對濕度要保持在40%±10%以內；大氣壓力（如用激光測量儀時）應保持1MPa±0.1%；機床地基的隔振系統固有頻率<2Hz；加工區的凈化度應為每立方英尺中大于0.1µm的微粒含量應不多于10顆。

具有能實現納米級（1nm ~10nm）增量進給的機床和分辨力優于0.1nm的測量設備，如激光干涉儀，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。
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